磷酸酯化反应通常在液相中进行，在反应过程中溶剂与水形成共沸物，将水分离出体系。由于在液相中淀粉吸水膨胀能力强，不利于脱水，使酯化反应难以向正方向进行，不能实现深度酯化。湿法生产工艺比较成熟，国内外大部分工厂都是用湿法工艺生产。但必须消耗大量的水，而且需要对产生的废水进行处理。湿法工艺的优点是试剂与淀粉混合均匀度好，产品质量好，缺点是收率低，生产流程长，生产过程废水多，设备投资大等。干法比较适合工业化生产，反应效率高、速度快、不产生废水、周期短。但国内干法生产工艺落后，特别是反应器不过关，淀粉和磷酸盐溶液很难混合均匀，产品质量不稳定。但由于投资少、能耗低、生产周期短等优点，因此具有一定的市场竞争力。干法生产是指将磷酸酯化试剂和催化剂的混合液与干淀粉充分混合后，将其水分降低至15%左右，再在100～150℃下反应1～3 h。在干法制备淀粉磷酸酯过程中，一般分为两个阶段：首先，淀粉在较低温度下干燥以除去过多水分；然后在较高温度下热反应进行磷酸酯化。

一般是用正磷酸盐(NaH2PO4/Na2HPO4)、焦磷酸盐(Na3HP2O7)、偏磷酸盐(Na4P2O7)、三聚磷酸钠(Na5P3O10，STP)、三氯氧磷(POCl3，)或有机含磷试剂等与淀粉制备而成。